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參數(shù)名稱

參數(shù)值

測量范圍

(0~100)% mol/mol

精       度

±0.5%（mol/mol）

分  辨  率

0.01%

響應(yīng)時(shí)間

<20s

 配氣流量

24Nm3/h（常規(guī)，RF-MG24），

12Nm3/h（RF-MG12）、

30Nm3/h（RF-MG30）、

60Nm3/h（RF-MG60）可選 

配氣誤差 

<±0.5% 

輸出壓力

 1.5Mpa(MAX)

系統(tǒng)平衡時(shí)間

<40s

控  制  器

西門子S7-200smart

顯  示  屏

一體式觸摸屏

真  空  泵

16m3，極性真空度10pa 

電       源

380VAC±10%   50Hz

功       率

10KW max 

壓力容器

附帶壓力容器證 

氣源壓力

>0.3Mpa

環(huán)境溫度

(-10～50)℃ 

環(huán)境濕度

(15～90)%RH（無結(jié)露）

環(huán)境壓力

大氣壓 ±10% 

尺       寸

1100mm*900mm*1610mm（L*W*H）

 不同規(guī)格尺寸會有差別