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該項目由工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)中心在鄭州組織召開了綜合績效評價會。評審專家組由來自東南大學(xué)、中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所、重慶大學(xué)、智恒(廈門)微電子有限公司、合肥工業(yè)大學(xué)、中北大學(xué)、中國人民解放軍國防科技大學(xué)、中國地質(zhì)大學(xué)(北京)、中國醫(yī)學(xué)科學(xué)院藥物研究所、河南農(nóng)業(yè)大學(xué)的10位專家組成。工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)中心項目專員孫太任、河南省科技廳副廳長劉英鋒，項目責(zé)任專家中國科學(xué)院微電子研究所焦斌斌研究員，項目咨詢專家中科院電工研究所韓立研究員，日立信股份董事長汪獻(xiàn)忠，項目負(fù)責(zé)人復(fù)旦大學(xué)鄧勇輝、日立信股份技術(shù)研究院院長赫樹開、課題負(fù)責(zé)人上海大學(xué)徐甲強(qiáng)、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所許鵬程、南方科技大學(xué)汪飛及項目骨干代表盧紅亮、鄭利兵等50余人參與此次會議。

工信部產(chǎn)促中心孫太任專員介紹了參會專家領(lǐng)導(dǎo)及項目綜合績效評價要求，河南省科技廳副廳長劉英鋒及日立信股份董事長汪獻(xiàn)忠分別代表項目主管部門及牽頭單位致歡迎辭，對評審專家及項目參與人員表示歡迎和感謝。

該項目2021年3月啟動以來，河南省日立信股份有限公司、復(fù)旦大學(xué)、上海大學(xué)、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、南方科技大學(xué)、中科院電工研究所等6家國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS傳感器研發(fā)團(tuán)隊，產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)合攻關(guān)。針對工業(yè)傳感器面臨的一致性、選擇性及穩(wěn)定性難題，構(gòu)建了基于介孔結(jié)構(gòu)孔道努森擴(kuò)散-表面吸附催化的傳感模型，突破了高性能氣敏薄膜可控制備難題；研制出150 mm晶圓級MEMS低功耗微熱板芯片并實現(xiàn)了傳感器晶圓的批量快速測試；開發(fā)了硫化氫、甲醛、氫氣傳感器模組及關(guān)聯(lián)儀表和檢測裝置，滿足核電、特高壓、氫能源及智能家居等特定領(lǐng)域的應(yīng)用需求，以傳感器技術(shù)促進(jìn)新能源、物聯(lián)網(wǎng)和大健康等新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展，形成國產(chǎn)化升級替代新技術(shù)。

日立信股份感謝評審專家對項目成績的肯定與認(rèn)可，感謝項目組及各位指導(dǎo)專家的辛勤付出。日立信股份將繼續(xù)加強(qiáng)科研團(tuán)隊建設(shè)，加大感知技術(shù)研發(fā)投入力度，聚焦市場前沿技術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)帶動，不斷提高傳感器產(chǎn)業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益，為進(jìn)一步提升我國高性能傳感器的核心競爭力做出更大的貢獻(xiàn)。